Как запретить Google показывать кэшированную версию моего сайта?

Из того, что я понимаю, я могу сказать Google удалить страницы из их архива, если я добавлю заголовок:

<meta name="ROBOTS" contents="NOARCHIVE" />

Но не приведет ли это также к удалению страницы из результатов поиска? Я хочу только удалить ссылку "Cached".

Нет, он не удалит ваш сайт из списков, только из архива. Так что ваша идея NOARCHIVE верна. Подробнее о том, как Google относится ко всему этому, можно узнать в собственном блоге Google: http://googleblog.blogspot.com/2007/02/robots-exclusion-protocol.html.