Что такое «вафля риска»?

13

В производстве интегральных микросхем я столкнулся с термином «пластина риска», который, кажется, отличается от «нормальной» пластины. Но я не могу найти в Интернете никакой информации о том, что на самом деле представляет собой вафля риска.

ломаться
источник

Ответы:

17

Когда вы запускаете проектирование в производство, то есть раскладывание ленты, разрушение (создание маски), а затем запуск партии, то, как обычно, запускается партия ES (инженерный образец), которая меньше, чем полная партия производства (25), размером с эта партия ES зависит от фабрики, но обычно составляет 12 или около того. Затем вы помещаете вафельные держатели в разные моменты процесса. Вы начинаете с 12 вафель, но три удерживаются, скажем, на имплантате, а затем еще три удерживаются в затворе, и затем еще три удерживаются на металле 1, что позволяет последним 3 пройти до конечного шага.

Это сделано для того, чтобы при обнаружении проблем на различных этапах вы могли исправить их, а затем перезапустить эти отложенные пластины и не подвергаться длительной задержке. Также это не имеет смысла от потрясающих 25 вафель, которые идут в утиль.

Вы никогда не можете просто удерживать 1 вафлю, так как многие этапы обработки делают несколько вафель за раз (скажем, 6, 3 или 4), и, таким образом, если вы остановите только одну вафлю, она будет иметь замену «фиктивной» вафлей с аналогичной обработка ставится на свое место. Фабрики не любят тратить производственные мощности на металлолом.

Количество, удерживаемое на каждой остановке, будет зависеть от машин (3 пластины или 4 пластины и т. Д. В этом центре машины).

Упомянутая вами «вафля риска» может быть первой партией из 3, которая проходит через ES с остановками или удержаниями в разных местах для других вафель в лоте. Первые из них гораздо «рискованнее». Вафли, которые хранятся в разных местах, могут быть не такими рискованными, поэтому их нельзя считать рискованными. Хотя некоторые фантасты считают их таковыми.

И, наконец, в некоторых случаях, любой неквалифицированный запуск вафель считается риск-вафлей.

Таким образом, этот термин будет зависеть от того, какой класс вы используете.

Полезный совет @bdegnan, который указал, что в некоторых случаях «вафля риска» - это та, где отказ от процесса запрашивается и предоставляется. Поэтому может потребоваться изменить этапы процесса, дозировку или добавить новые скобы (которые еще не прошли аттестацию) или даже отказ от DRC (проверка правил проектирования). Захватил это из комментариев.

заполнитель
источник
Мы получаем наклейку «риск-вафля», когда просим о допинг-контроле и допинге. Например, если вы хотите создать MESFET для стандартного процесса CMOS, вы в конечном итоге нарушаете достаточно некритических правил, чтобы получить флаг, даже если вы на самом деле не «нарушаете» какие-либо правила.
B Degnan
@bdegnan вы должны добавить в качестве отдельного ответа, я забыл добавить этот аспект. Хорошая точка зрения!
заполнитель
Вы в значительной степени ударили, поэтому я не думал, что моих ошибок было достаточно для правильного ответа.
B Degnan
1
@bdegnan отредактировал и добавил к моему ответу, с атрибуцией. Комментарии удаляются, поэтому существенная информация должна мигрировать в поле ответа.
заполнитель
@placeholder: Не могли бы вы объяснить, что такое "неквалифицированный запуск вафель"?
Фриц